Trong một ứng dụng thương mại, phosphoryl triclorua được sử dụng trong sản xuất các este photphat. Các triarylphosphat như triphenyl photphat và tricresyl photphat được sử dụng làm chất chống cháy và chất hóa dẻo cho PVC. Trialkylphosphates như triglixerit photphat được sử dụng làm dung môi chiết lỏng-lỏng trong quá trình tái chế hạt nhân và các nơi khác.
Trong công nghiệp bán dẫn, POCl3 được sử dụng như một nguồn phốt pho lỏng an toàn trong các quá trình khuếch tán. Phốt pho hoạt động như một chất pha tạp được sử dụng để tạo ra các lớp loại n trên tấm silicon.