Cacbon tetraflorua đôi khi được sử dụng làm chất làm lạnh ở nhiệt độ thấp. Nó được sử dụng trong chế tạo vi điện tử một mình hoặc kết hợp với oxy như một chất ăn mòn plasma cho silicon, silicon dioxide và silicon nitride. Nó cũng được sử dụng trong máy dò neutron.
Tetrafluoromethane là một khí nhà kính mạnh có tuổi thọ trong khí quyển là 50.000 năm. Nó được sử dụng như một chất làm lạnh nhiệt độ thấp và cũng như một chất ăn mòn plasma trong chế tạo thiết bị điện tử.